Нагреваемый вакуумметр для процессов травления с защитой мембраны от коррозионных продуктов и осаждения.
Серия: CM1E
Емкостный мембранный вакуумметр CM1E — прибор вакуумного измерения CBVAC, модель CM1E. Подтверждённые данные исполнения: диапазоны полной шкалы — 45 °C: 0,02-100 Торр; 100 °C: 0,05-100 Торр, дискретные номиналы; температурное исполнение — 45 °C или 100 °C; точность — До 0,12 % от показания; зависит от диапазона и температуры; разрешение — 0,001 % полной шкалы; 0,002 % для диапазонов 0,02 и 0,05 Торр; выходной сигнал — 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм; время отклика — <.
Измерительный преобразователь формирует сигнал давления для индикации, регистрации и автоматики. Применимость определяется физическим принципом датчика, диапазоном, рабочими газами, точностью, временем отклика и совместимостью выходного сигнала с контроллером.
При подборе задают начальное, рабочее и предельное давление, требуемую точность и скорость обновления, состав газа, температуру, вероятность конденсации и загрязнения, присоединение, питание и формат сигнала. Предел перегрузки рассматривают как защитное ограничение, а не как расширение рабочего диапазона.
Прибор устанавливают на чистом и механически разгруженном порту. Ориентацию выбирают так, чтобы частицы и конденсат не попадали в чувствительный узел; кабель отделяют от силовых цепей, экран и заземление подключают по схеме установки. Ответный фланец, уплотнение и контактирующие материалы проверяют на совместимость с процессом.
Перед вводом в эксплуатацию проверяют маркировку, герметичность порта, питание, нулевой сигнал, единицы отображения и реакцию автоматики. Показания оценивают после установленного времени прогрева. Контрольную точку и периодичность калибровки фиксируют в регламенте оборудования с учётом стабильности процесса и требований системы качества.
В заказной спецификации указывают модель CM1E, диапазон и единицы давления, точность, присоединение, материалы, выход, питание, кабель, рабочие газы, температуру и требования к калибровке. Для согласования используется единственный контакт: info@cbvacrus.ru
Вакуумные измерения CM1E: ключевые параметры — Диапазоны полной шкалы — 45 °C: 0,02-100 Торр; 100 °C: 0,05-100 Торр, дискретные номиналы; Температурное исполнение — 45 °C или 100 °C; Точность — До 0,12 % от показания; зависит от диапазона и температуры; Разрешение — 0,001 % полной шкалы; 0,002 % для диапазонов 0,02 и 0,05 Торр. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.
Оборудование относится к разделу Вакуумные измерения, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 45 °C: 0,02-100 Торр; 100 °C: 0,05-100 Торр, дискретные номиналы |
| Температурное исполнение | 45 °C или 100 °C |
| Точность | До 0,12 % от показания; зависит от диапазона и температуры |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы; 0,002 % для диапазонов 0,02 и 0,05 Торр |
| Выходной сигнал | 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм |
| Время отклика | < 20 мс |
| Питание | ±15 В пост. тока ±5 %; до 0,25 А при 45 °C и до 0,6 А при 100 °C |
| Вакуумные присоединения | NW16-KF, NW25-KF, CF16, CF35, VCR, VCO или трубка 1/2 дюйма |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Рабочая температура окружающей среды | 45 °C: 15-40 °C; 100 °C: 15-50 °C |
| Время прогрева | 2 ч при полной шкале >= 1 Торр; 4 ч при полной шкале < 1 Торр |
| Температурный дрейф нуля при 45 °C | 0,002 % полной шкалы/°C (1-100 Торр); 0,005 % (0,1 и 0,25 Торр); 0,015 % (0,05 Торр); 0,03 % (0,02 Торр) |
| Температурный дрейф нуля при 100 °C | 0,002 % полной шкалы/°C (1-100 Торр); 0,01 % (0,1 Торр); 0,02 % (0,05 Торр) |
| Температурный коэффициент полной шкалы | 0,02 % от показания/°C |
| Сигнальный интерфейс | DB15, штекер |
| Монтажная ориентация | Стандартная, горизонтальная или вертикальная; стандартная без ограничения направления только при полной шкале > 1 Торр |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ |
| Материал, контактирующий с вакуумом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
Внешний вид оборудования, габаритные схемы и рабочие характеристики собраны рядом с параметрами модели.
Преобразует давление в измерительный сигнал для индикации, регистрации или управления процессом. Рабочую точку выбирают внутри подтвержденного диапазона конкретного исполнения.
Последовательность помогает не потерять интерфейсы, которые обычно не видны в краткой строке каталога.
Для монтажа, запуска и обслуживания сохраните полное обозначение модели, код заказа, рабочие режимы, присоединения и схему управления в технической спецификации установки.
При заказе укажите модель, присоединение, рабочую среду, режим эксплуатации и количество. Для насосов и измерительных приборов дополнительно согласуются питание, охлаждение, контроллеры и кабели; для компонентов — материал, уплотнение и ответные детали.
Нет. Для CM1E необходимо сверить артикул, размер, материал и все параметры из таблицы с проектной спецификацией.
Только после сравнения присоединений, характеристик и ограничений процесса. Сходное название серии не означает взаимозаменяемость.
Заказной код, присоединение, материал, рабочий режим, комплектность и необходимые интерфейсы точного исполнения.
Укажите модель, функцию позиции в установке, рабочее давление, среду, присоединение, количество и требования к комплектации.
Ссылки ведут к категории, серии, документации и материалам, которые дополняют характеристики этой модели.
