Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1401

Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1401 — вакуумный насос CBVAC, модель JFB-200/1401. Подтверждённые данные исполнения: быстрота откачки — N₂ — 1350 л/с; He — 1200 л/с; предельное давление — ≤ 5×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 5×10⁻⁷ Па (CF); степень сжатия — N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴; максимальное непрерывное входное давление — N₂ — 2 Па; He — 1 Па; максимальное непрерывное выпускное давление — N₂ — 300 Па; He — 200 Па.

Турбомолекулярная ступень создаёт высокий вакуум совместно с форвакуумным насосом. Рабочую точку определяют для фактического газа и одновременно проверяют быстроту откачки, степень сжатия, входное и выпускное давление.

Для инженерного подбора задают объём и материал камеры, начальное, рабочее и предельное давление, время откачки, состав и расход газов, загрязнения, температуру и режим работы. Расчёт выполняют для всей системы с учётом проводимости патрубков, клапанов, фильтров и выпускной линии; номинальная быстрота насоса сама по себе не определяет время цикла.

Монтаж выполняют в подтверждённой ориентации на рассчитанном основании. Корпус и фланцы не нагружают массой трубопровода, уплотнительные поверхности защищают от частиц и повреждений, а вокруг охлаждения, кабелей и сервисных зон оставляют доступ. До запуска проверяют герметичность, заземление, выпуск и готовность вспомогательных систем.

Алгоритм запуска учитывает готовность форвакуумной ступени, охлаждения и измерительного канала. Во время работы контролируют давление, температуру, ток или мощность, шум, вибрацию и аварийные сигналы. После обслуживания повторяют проверку герметичности, блокировок и устойчивости режима; результаты сохраняют в журнале установки.

В заказной спецификации указывают модель JFB-200/1401, газы и загрязнения, параметры камеры и цикла, оба фланца, форвакуумную ступень, охлаждение, питание, контроллер, кабели и интерфейсы. Для согласования комплектации используется info@cbvacrus.ru

JFB-200/1401 — заказная конфигурация турбомолекулярного насоса JFB серии JFB-200/1401. Код заказа A21A1-00005 однозначно связывает фланцевое исполнение, комплектацию и документацию поставки.

Подтверждённая комплектация: входной фланец конфигурации — LF200; форвакуумный фланец — DN40 ISO-KF; KF50 опционально; охлаждение конфигурации — Водяное; интерфейс управления — RS485 и дискретные входы/выходы; питание контроллера — 220 В перем. тока ±10 %, 50/60 Гц. При сравнении вариантов проверяют не только диаметр входа, но и рабочий газ, требуемую быстроту, давление на входе и выпуске, способ охлаждения и совместимость контроллера.

Для этой конфигурации в технической таблице подтверждены: быстрота откачки — N₂ — 1350 л/с; He — 1200 л/с; предельное давление — ≤ 5×10⁻⁶ Па; степень сжатия — N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴; максимальное непрерывное входное давление — N₂ — 2 Па; He — 1 Па; максимальное непрерывное выпускное давление — N₂ — 300 Па; He — 200 Па; критическое выпускное давление — N₂ — 1000 Па; He — 500 Па. Для газов с различной молекулярной массой используют соответствующие значения быстроты и степени сжатия. Форвакуумную ступень подбирают по проводимости выпускной линии, допустимому выпускному давлению, газовой нагрузке и режиму технологического цикла.

На сборочном чертеже фиксируют высоковакуумный и форвакуумный фланцы, положение выпускного патрубка, монтажную ориентацию, опоры, охлаждение и сервисные зазоры. Корпус не должен воспринимать массу трубопровода; фланцы очищают и собирают без перекоса, а герметичность проверяют до разгона ротора.

При вводе в эксплуатацию сначала запускают и контролируют форвакуумный насос, затем разрешают разгон турбомолекулярной ступени. В автоматике обрабатывают частоту вращения, температуру, состояние охлаждения, аварийные сигналы и безопасную остановку. После обслуживания повторяют проверку герметичности, блокировок и устойчивости рабочего давления.

В заказной спецификации указывают модель JFB-200/1401, код A21A1-00005, рабочие газы и загрязнения, объём камеры, начальное и рабочее давление, время откачки, оба присоединения, форвакуумный насос, охлаждение, питание, контроллер, кабели и интерфейсы. Для согласования комплектации используется info@cbvacrus.ru

Вакуумные насосы JFB-200/1401: ключевые параметры — Быстрота откачки — N₂ - 1350 л/с; He - 1200 л/с; Предельное давление — ≤ 5×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 5×10⁻⁷ Па (CF); Степень сжатия — N₂ - 1×10¹¹; He - 1×10⁴; Максимальное непрерывное входное давление — N₂ - 2 Па; He - 1 Па. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.

Оборудование относится к разделу Вакуумные насосы, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.