Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81

Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81 — турбомолекулярный насос с быстротой откачки N₂ — 85 л/с; He — 55 л/с и предельным давлением ≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF). Параметры для азота и гелия приведены раздельно, поэтому рабочую точку выбирают по фактическому газу, а не по одному номиналу модели.

Для модели подтверждены степень сжатия N₂ — 1×10⁸; He — 1×10⁶, максимальное непрерывное входное давление N₂ — 2 Па; He — 4 Па и максимальное непрерывное выпускное давление N₂ — 650 Па; He — 300 Па. Эти три ограничения проверяют одновременно: превышение допустимого давления на выпуске нельзя компенсировать только увеличением паспортной быстроты высоковакуумной ступени.

Высоковакуумное присоединение — DN63 ISO-K (LF) или CF, форвакуумное — DN16 ISO-KF. Производитель рекомендует форвакуумный насос с быстротой 0,5-2 л/с. При расчёте также учитывают объём камеры, газовую нагрузку, проводимость линии, требуемое время откачки и давление запуска турбомолекулярной ступени.

Роторный узел использует Прецизионные керамические подшипники; допустимая монтажная ориентация — Произвольная, номинальная частота вращения — 75 000 об/мин. Корпус устанавливают без нагрузки от трубопровода, обеспечивают чистоту фланцев, штатное охлаждение и доступ к кабелю, форвакуумному порту и сервисным зонам.

Контроллер поддерживает RS485 и дискретные входы/выходы. В автоматике задают последовательность запуска форвакуумного насоса, разрешение разгона, контроль температуры и частоты вращения, реакцию на аварийные сигналы и безопасную остановку. Перед вводом проверяют направление потоков, герметичность, охлаждение и работу блокировок.

В заказной спецификации указывают модель JFB-63/81, вариант входного фланца, рабочий газ, требуемые давления и быстроту, форвакуумный насос, охлаждение, контроллер, кабели и интерфейсы. Для согласования комплектации используется info@cbvacrus.ru

JFB-63/81 — заказная конфигурация турбомолекулярного насоса JFB серии JFB-63/81. Код заказа A22A1-00021 однозначно связывает фланцевое исполнение, комплектацию и документацию поставки.

Подтверждённая комплектация: входной фланец конфигурации — LF63; форвакуумный фланец — DN16 ISO-KF; охлаждение конфигурации — Воздушное; интерфейс управления — RS485 и дискретные входы/выходы. При сравнении вариантов проверяют не только диаметр входа, но и рабочий газ, требуемую быстроту, давление на входе и выпуске, способ охлаждения и совместимость контроллера.

Для этой конфигурации в технической таблице подтверждены: быстрота откачки — N₂ — 85 л/с; He — 55 л/с; предельное давление — ≤ 8×10⁻⁶ Па; степень сжатия — N₂ — 1×10⁸; He — 1×10⁶; максимальное непрерывное входное давление — N₂ — 2 Па; He — 4 Па; максимальное непрерывное выпускное давление — N₂ — 650 Па; He — 300 Па; критическое выпускное давление — N₂ — 950 Па; He — 500 Па. Для газов с различной молекулярной массой используют соответствующие значения быстроты и степени сжатия. Форвакуумную ступень подбирают по проводимости выпускной линии, допустимому выпускному давлению, газовой нагрузке и режиму технологического цикла.

На сборочном чертеже фиксируют высоковакуумный и форвакуумный фланцы, положение выпускного патрубка, монтажную ориентацию, опоры, охлаждение и сервисные зазоры. Корпус не должен воспринимать массу трубопровода; фланцы очищают и собирают без перекоса, а герметичность проверяют до разгона ротора.

При вводе в эксплуатацию сначала запускают и контролируют форвакуумный насос, затем разрешают разгон турбомолекулярной ступени. В автоматике обрабатывают частоту вращения, температуру, состояние охлаждения, аварийные сигналы и безопасную остановку. После обслуживания повторяют проверку герметичности, блокировок и устойчивости рабочего давления.

В заказной спецификации указывают модель JFB-63/81, код A22A1-00021, рабочие газы и загрязнения, объём камеры, начальное и рабочее давление, время откачки, оба присоединения, форвакуумный насос, охлаждение, питание, контроллер, кабели и интерфейсы. Для согласования комплектации используется info@cbvacrus.ru

Вакуумные насосы JFB-63/81: ключевые параметры — Быстрота откачки — N₂ - 85 л/с; He - 55 л/с; Предельное давление — ≤ 8×10⁻⁶ Па (LF); ≤ 8×10⁻⁷ Па (CF); Степень сжатия — N₂ - 1×10⁸; He - 1×10⁶; Максимальное непрерывное входное давление — N₂ - 2 Па; He - 4 Па. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.

Оборудование относится к разделу Вакуумные насосы, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.