Откачка, изоляция и контроль давления для PVD, CVD и плазменных процессов.
Для направления «Нанесение покрытий» решение принимается по подтвержденным параметрам оборудования и реальным условиям процесса. Одинаковое предельное давление в каталоге не означает одинаковую скорость откачки камеры: результат зависит от проводимости линии, газовой нагрузки и выбранной рабочей точки.
В PVD- и CVD-процессах насосная система должна одновременно обеспечивать предварительную откачку и устойчивую работу при заданном газовом потоке. Предельное давление характеризует подготовку, но качество процесса определяет рабочая точка при открытых газовых линиях и активном источнике.
Экран, ловушка или обслуживаемый участок размещаются до чувствительных элементов, если процесс создает конденсируемые продукты. Проводимость защитного элемента учитывают в расчете. Клапан регулирования выбирают вместе с диапазоном расхода и алгоритмом обратной связи.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Разделяем требования процесса и параметры вакуумной подсистемы.
Определяем ступени откачки, арматуру и средства измерения.
Проверяем проводимость, газовую нагрузку и условия интеграции.
Формируем состав оборудования и контрольные точки приемки.
Результат — архитектура вакуумной подсистемы с моделями, интерфейсами, ограничениями и вопросами, которые необходимо подтвердить до заказа.
Модель, код заказа, присоединение, диапазон, питание и комплектация сверяются с актуальной документацией. Условия наличия, срок гарантии и применимость конкретной запасной части не публикуются без подтверждения по поставке.
Числовые параметры из каталога рассматриваются вместе с единицами, условиями измерения и типом газа. Если источник не определяет условие, оно фиксируется как вопрос, а не заменяется предположением.
Изображение серии
Высоковакуумный пневматический угловой клапан: модель GDQ-J40BGK, код заказа 4.1.E2263.
Изображение серии
Высоковакуумный пневматический угловой клапан: модель GDQ-J40HGK-EH1D, код заказа 4.1.2263-EH1D.
Изображение серии
Высоковакуумный ручной клапан тонкой регулировки: модель GW-J2, код заказа 4.1.A2703.
Изображение серии
Высоковакуумный ручной напускной клапан: модель GD-Q4, код заказа 4.1.A2130.
Напишите на info@cbvacrus.ru. На сайте нет форм обратной связи; вложения остаются в вашем почтовом клиенте.
