Паспортная быстрота насоса описывает сам насос в заданных условиях измерения. Проектировщика интересует другая величина — эффективная быстрота непосредственно у камеры. Ее ограничивают трубопровод, клапаны, переходники, фильтры и даже входное сечение.

Граница применения

Расчет ниже предназначен для предварительной инженерной оценки. Проводимость зависит от режима течения и газа, а быстрота насоса — от давления и конфигурации. Окончательный выбор требует паспортных кривых и согласованной схемы.

01 · Расчетная модель

Разделите установку на источник газа и путь его удаления

Вакуумная камера содержит начальный объем газа и одновременно создает газовую нагрузку за счет натекания, десорбции, технологической подачи и проникновения через материалы. Насос удаляет газ не напрямую: между его входом и камерой находится тракт с конечной проводимостью.

В расчетной схеме каждый последовательный элемент добавляет сопротивление потоку. Поэтому задача «увеличить насос» не всегда сокращает время откачки: при малой проводимости выигрыш быстро уменьшается.

02 · Проводимость

Проводимость связывает газовый поток и перепад давления

ОпределениеC = qpV / Δp

C — проводимость, qpV — поток газа, Δp — перепад давления на элементе.

В молекулярном режиме проводимость длинной круглой трубы для воздуха при комнатной температуре часто оценивают выражением C ≈ 12,1·d³/L, где внутренний диаметр d и длина L заданы в сантиметрах, а результат получают в литрах в секунду. Формула неприменима автоматически к вязкостному и переходному режимам.

Кубическая зависимость от диаметра объясняет, почему короткая линия большого прохода обычно эффективнее длинной узкой магистрали. Повороты, клапаны и защитные элементы учитывают как дополнительные сопротивления; для последовательных участков складываются обратные проводимости.

Последовательные элементы1 / CΣ = 1 / C₁ + 1 / C₂ + … + 1 / Cn

Наименьшая проводимость сильнее всего влияет на суммарный результат.

03 · Рабочая быстрота

Эффективная быстрота всегда учитывает тракт

У камеры1 / Seff = 1 / S + 1 / CΣ

S — быстрота насоса у его входа, CΣ — суммарная проводимость между камерой и насосом.

Если проводимость значительно выше быстроты насоса, потери в тракте невелики. Если значения сопоставимы, эффективная быстрота заметно падает. Когда проводимость намного меньше быстроты насоса, увеличение номинала насоса почти не меняет результат у камеры — сначала требуется изменить геометрию линии.

C ≫ SSeff ≈ S

Тракт почти не ограничивает насос.

C = SSeff = S / 2

Половина потенциальной быстроты теряется на тракте.

C ≪ SSeff ≈ C

Результат определяет магистраль.

04 · Динамика давления

Идеальное время откачки — только нижняя оценка

Для одного режима и постоянной Sefft ≈ (V / Seff) · ln(p₀ / p₁)

V — объем, p₀ и p₁ — начальное и конечное давление в согласованных единицах.

Формула описывает идеализированное экспоненциальное снижение давления. Реальная установка проходит вязкостный, переходный и молекулярный режимы; меняются проводимость, быстрота насосов и вклад поверхностного газовыделения. В технологическом цикле добавляются пары, продувка, дросселирование и ограничения по температуре.

При постоянной газовой нагрузке Q давление не стремится к нулю. Для согласованных единиц рабочая оценка имеет вид p ≈ Q / Seff. Поэтому увеличение быстроты помогает только вместе с контролем натекания, чистоты, материалов и площади поверхности.

05 · Упрощенный пример

Почему линия меняет результат выбора

Рассмотрим иллюстративную камеру объемом 500 л, насос с быстротой 300 л/с и тракт с расчетной проводимостью 120 л/с в рассматриваемом режиме.

Насос300 л/с
Тракт120 л/с
У камеры≈ 85,7 л/с
Использовано≈ 29% номинала

Идеальное время перехода на три порядка давления при постоянной эффективной быстроте составило бы около 40 секунд: 500/85,7·ln(1000). Это не обещание фактического цикла, а нижняя расчетная оценка внутри допущений. Для реального проекта время разбивают по диапазонам давления и учитывают газовую нагрузку.

06 · Исходные данные

Что требуется для проверяемого расчета

  • объем камеры и присоединенной магистрали;
  • начальное, рабочее и требуемое минимальное давление;
  • допустимое время откачки и профиль цикла;
  • газ, пары, технологическая подача и ожидаемая газовая нагрузка;
  • внутренние диаметры, длины, повороты, клапаны и фильтры;
  • температура, прогрев, материалы и состояние поверхностей;
  • кривые быстроты насосов и допустимые режимы ступеней;
  • точки измерения, диапазоны вакуумметров и требования автоматики.
Перейти к расчету системы Открыть насосы