DM1E

Емкостный мембранный вакуумметр DM1E

Исполнение для травления с нагревом 45 °C или 100 °C, направляющей потока и защитой мембраны от осаждения.

Диапазоны полной шкалы
0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °C
Температурное исполнение
45 °C или 100 °C
Точность
До 0,12 % от показания при 45 °C
Разрешение
0,001 % полной шкалы
  • 19технических параметров
  • Вакуумные измерениякатегория оборудования
  • Подборпо условиям процесса
Назначение

Применение и конструктивное исполнение

Емкостный мембранный вакуумметр DM1E — прибор вакуумного измерения CBVAC, модель DM1E. Подтверждённые данные исполнения: диапазоны полной шкалы — 0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °C; температурное исполнение — 45 °C или 100 °C; точность — До 0,12 % от показания при 45 °C; разрешение — 0,001 % полной шкалы; выходной сигнал — 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм; время отклика — < 20 мс; питание — ±15 В пост. тока ±5 %.

Измерительный преобразователь формирует сигнал давления для индикации, регистрации и автоматики. Применимость определяется физическим принципом датчика, диапазоном, рабочими газами, точностью, временем отклика и совместимостью выходного сигнала с контроллером.

При подборе задают начальное, рабочее и предельное давление, требуемую точность и скорость обновления, состав газа, температуру, вероятность конденсации и загрязнения, присоединение, питание и формат сигнала. Предел перегрузки рассматривают как защитное ограничение, а не как расширение рабочего диапазона.

Прибор устанавливают на чистом и механически разгруженном порту. Ориентацию выбирают так, чтобы частицы и конденсат не попадали в чувствительный узел; кабель отделяют от силовых цепей, экран и заземление подключают по схеме установки. Ответный фланец, уплотнение и контактирующие материалы проверяют на совместимость с процессом.

Перед вводом в эксплуатацию проверяют маркировку, герметичность порта, питание, нулевой сигнал, единицы отображения и реакцию автоматики. Показания оценивают после установленного времени прогрева. Контрольную точку и периодичность калибровки фиксируют в регламенте оборудования с учётом стабильности процесса и требований системы качества.

В заказной спецификации указывают модель DM1E, диапазон и единицы давления, точность, присоединение, материалы, выход, питание, кабель, рабочие газы, температуру и требования к калибровке. Для согласования используется единственный контакт: info@cbvacrus.ru

Вакуумные измерения DM1E: ключевые параметры — Диапазоны полной шкалы — 0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °C; Температурное исполнение — 45 °C или 100 °C; Точность — До 0,12 % от показания при 45 °C; Разрешение — 0,001 % полной шкалы. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.

Оборудование относится к разделу Вакуумные измерения, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.

Параметры модели

Технические характеристики

ПараметрЗначениеЗначение для проекта
Диапазоны полной шкалы0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °CРабочая точка должна находиться внутри подтвержденной области параметра.
Температурное исполнение45 °C или 100 °CОграничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
ТочностьДо 0,12 % от показания при 45 °CОпределяет пригодность для контроля, регулирования или регистрации процесса.
Разрешение0,001 % полной шкалыУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Выходной сигнал0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОмДолжен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации.
Время отклика< 20 мсУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Питание±15 В пост. тока ±5 %; 0,25 А при 45 °C, 0,5 А при 100 °CПроверяется вместе с кабелем, защитой и требованиями к заземлению.
Сигнальный интерфейсDB9, штекерДолжен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации.
Предельная перегрузка310 кПаУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Рабочая температура окружающей среды45 °C: 15-40 °C; 100 °C: 15-50 °CОграничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Время прогрева2 ч при полной шкале >= 1 Торр; 4 ч при полной шкале < 1 ТоррУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Температурный дрейф нуля при 45 °C0,002 % полной шкалы/°C (1-1000 Торр); 0,005 % (0,1 Торр); 0,015 % (0,05 Торр); 0,03 % (0,02 Торр)Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Температурный дрейф нуля при 100 °C0,002 % полной шкалы/°C (1-100 Торр); 0,01 % (0,1 Торр); 0,02 % (0,05 Торр)Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Температурный коэффициент полной шкалы0,02 % от показания/°CОграничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Вакуумные присоединенияNW16-KF, NW25-KF, CF16, CF35, VCR, VCO, 4 VCR или трубка 1/2 дюймаОпределяет механический и вакуумный интерфейс с системой.
Монтажная ориентацияСтандартная, горизонтальная или вертикальная; стандартная без ограничения направления только при полной шкале > 1 ТоррУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Объём чувствительной полости6,3 см³Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Материал, контактирующий с вакуумомКоррозионностойкий никелевый сплавВлияет на совместимость со средой, очистку, нагрев и технологию соединения.
Внешняя установка нуляОпция, кроме минимальных диапазонов, указанных в коде заказаУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Паспорт модели

Ключевые параметры DM1E

Краткая инженерная интерпретация параметров этого исполнения для подбора, компоновки и эксплуатации.

Диапазоны полной шкалы 0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °C

Для модели DM1E указано значение «0,02-1000 Торр, дискретные номиналы; 0,02 Торр только при 45 °C». Рабочая точка должна находиться внутри подтвержденной области параметра.

Температурное исполнение 45 °C или 100 °C

Для модели DM1E указано значение «45 °C или 100 °C». Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.

Точность До 0,12 % от показания при 45 °C

Для модели DM1E указано значение «До 0,12 % от показания при 45 °C». Определяет пригодность для контроля, регулирования или регистрации процесса.

Разрешение 0,001 % полной шкалы

Для модели DM1E указано значение «0,001 % полной шкалы». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Выходной сигнал 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм

Для модели DM1E указано значение «0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм». Должен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации.

Время отклика < 20 мс

Для модели DM1E указано значение «< 20 мс». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Питание ±15 В пост. тока ±5 %; 0,25 А при 45 °C, 0,5 А при 100 °C

Для модели DM1E указано значение «±15 В пост. тока ±5 %; 0,25 А при 45 °C, 0,5 А при 100 °C». Проверяется вместе с кабелем, защитой и требованиями к заземлению.

Сигнальный интерфейс DB9, штекер

Для модели DM1E указано значение «DB9, штекер». Должен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации.

Предельная перегрузка 310 кПа

Для модели DM1E указано значение «310 кПа». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Инженерный выбор

Параметры для включения в систему

  • Выбрать диапазон так, чтобы рабочая точка находилась в подтвержденной области измерения.
  • Уточнить газовую зависимость, точность и допустимое избыточное давление.
  • Проверить присоединение, выходной сигнал, питание и совместимый контроллер.
  • Учесть загрязнение, ориентацию и время отклика в реальном процессе.
Роль в системе

DM1E в составе вакуумной установки

Преобразует давление в измерительный сигнал для индикации, регистрации или управления процессом. Рабочую точку выбирают внутри подтвержденного диапазона конкретного исполнения.

Типовые задачи

  • контроль давления в вакуумной камере
  • управление технологическим циклом
  • защитные блокировки и регистрация трендов
От спецификации к монтажу

Интеграция и ввод в эксплуатацию

Последовательность помогает не потерять интерфейсы, которые обычно не видны в краткой строке каталога.

01

Сопряжение с системой

  • Согласовать вакуумное присоединение, ориентацию и место установки относительно источников загрязнения.
  • Проверить питание, тип выходного сигнала, распиновку и совместимый контроллер.
  • Уточнить газовую зависимость, точность, время отклика и допустимое избыточное давление.
  • Предусмотреть процедуру нулевой настройки, поверки или функциональной проверки.
02

Проверка перед запуском

  • Проверить чистоту измерительного порта и соответствие присоединения.
  • Подключить питание и сигнал по схеме точного исполнения.
  • Выполнить предусмотренную изготовителем настройку нуля или контрольную проверку.
  • Сопоставить показания с опорным прибором в нескольких точках рабочего диапазона.
Эксплуатационный контур

Что зафиксировать после выбора

Правильная карточка оборудования должна работать не только при закупке, но и при монтаже, запуске и последующем обслуживании.

Для технического запроса

  1. рабочий и предельный диапазон давления
  2. состав газа и наличие конденсируемых паров
  3. требуемая точность и время отклика
  4. вакуумное присоединение
  5. питание, сигнал и контроллер
  6. требования к поверке или калибровке

Для эксплуатации и сервиса

  • Отслеживать дрейф нуля и расхождение с опорным измерением.
  • Защищать чувствительный элемент от конденсата, частиц и превышения давления.
  • Фиксировать дату настройки, поверки и изменения конфигурации контроллера.
  • Не переносить коэффициенты одного газа на другой без проверки принципа измерения.
Точная конфигурация

Комплектация и заказное исполнение

При заказе укажите модель, присоединение, рабочую среду, режим эксплуатации и количество. Для насосов и измерительных приборов дополнительно согласуются питание, охлаждение, контроллеры и кабели; для компонентов — материал, уплотнение и ответные детали.

Перед заказом

Вопросы по модели DM1E

Можно ли выбрать позицию только по названию?

Нет. Для DM1E необходимо сверить артикул, размер, материал и все параметры из таблицы с проектной спецификацией.

Допустима ли замена соседней моделью серии?

Только после сравнения присоединений, характеристик и ограничений процесса. Сходное название серии не означает взаимозаменяемость.

Что уточнить перед заказом?

Заказной код, присоединение, материал, рабочий режим, комплектность и необходимые интерфейсы точного исполнения.

Какие данные приложить к техническому запросу?

Укажите модель, функцию позиции в установке, рабочее давление, среду, присоединение, количество и требования к комплектации.

Связанные материалы

Продолжить инженерный подбор

Ссылки ведут к категории, серии, документации и материалам, которые дополняют характеристики этой модели.

Сравнение 0 Список оборудования 0

Вы можете пользоваться всем сайтом без аналитических cookie. Каждый сервис включается отдельно и только после сохранения выбора.