Для модели FM1 указано значение «0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр». Рабочая точка должна находиться внутри подтвержденной области параметра.
FM1
Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT
Цифровой вакуумметр с EtherCAT, аналоговым выходом 0-10 В и температурными исполнениями от ненагреваемого до 100 °C.
- Диапазоны полной шкалы
- 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр
- Температурное исполнение
- Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C
- Точность
- До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр
- Интерфейс
- EtherCAT, 2 розетки RJ45
Серия: FM1
- 19технических параметров
- Вакуумные измерениякатегория оборудования
- Подборпо условиям процесса
Назначение
Применение и конструктивное исполнение
Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT — прибор вакуумного измерения CBVAC, модель FM1. Подтверждённые данные исполнения: диапазоны полной шкалы — 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр; температурное исполнение — Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C.
Измерительный преобразователь формирует сигнал давления для индикации, регистрации и автоматики. Применимость определяется физическим принципом датчика, диапазоном, рабочими газами, точностью, временем отклика и совместимостью выходного сигнала с контроллером.
При подборе задают начальное, рабочее и предельное давление, требуемую точность и скорость обновления, состав газа, температуру, вероятность конденсации и загрязнения, присоединение, питание и формат сигнала. Предел перегрузки рассматривают как защитное ограничение, а не как расширение рабочего диапазона.
Прибор устанавливают на чистом и механически разгруженном порту. Ориентацию выбирают так, чтобы частицы и конденсат не попадали в чувствительный узел; кабель отделяют от силовых цепей, экран и заземление подключают по схеме установки. Ответный фланец, уплотнение и контактирующие материалы проверяют на совместимость с процессом.
Перед вводом в эксплуатацию проверяют маркировку, герметичность порта, питание, нулевой сигнал, единицы отображения и реакцию автоматики. Показания оценивают после установленного времени прогрева. Контрольную точку и периодичность калибровки фиксируют в регламенте оборудования с учётом стабильности процесса и требований системы качества.
В заказной спецификации указывают модель FM1, диапазон и единицы давления, точность, присоединение, материалы, выход, питание, кабель, рабочие газы, температуру и требования к калибровке. Для согласования используется единственный контакт: info@cbvacrus.ru
Вакуумные измерения FM1: ключевые параметры — Диапазоны полной шкалы — 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр; Температурное исполнение — Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C; Точность — До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр; Интерфейс — EtherCAT, 2 розетки RJ45. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.
Оборудование относится к разделу Вакуумные измерения, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.
Параметры модели
Технические характеристики
| Параметр | Значение | Значение для проекта |
|---|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр | Рабочая точка должна находиться внутри подтвержденной области параметра. |
| Температурное исполнение | Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C | Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы. |
| Точность | До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр | Определяет пригодность для контроля, регулирования или регистрации процесса. |
| Интерфейс | EtherCAT, 2 розетки RJ45 | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Аналоговый выход | 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм | Должен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации. |
| Время отклика | 3,3 мс | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Питание | +24 В пост. тока ±10 % | Проверяется вместе с кабелем, защитой и требованиями к заземлению. |
| Предельная перегрузка | 310 кПа | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Вакуумные присоединения | NW16-KF, NW25-KF, CF16, VCR, VCO или трубка 1/2 дюйма | Определяет механический и вакуумный интерфейс с системой. |
| Время прогрева | 2 ч при полной шкале >= 1 Торр; 4 ч при полной шкале < 1 Торр | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Температурный дрейф нуля | Без нагрева: 0,005-0,02 % полной шкалы/°C; 45 °C: 0,002-0,005 %; 80 и 100 °C: 0,002-0,01 %, в зависимости от диапазона | Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы. |
| Температурный коэффициент полной шкалы | Без нагрева: 0,04 % от показания/°C; с нагревом: 0,02 % от показания/°C | Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы. |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Рабочая температура окружающей среды | Без нагрева: 0-50 °C; 45 °C: 15-40 °C; 80 и 100 °C: 15-50 °C | Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы. |
| Максимальный ток питания | 0,3 А без нагрева; 0,6 А при 45 °C; 0,8 А при 80 или 100 °C | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Индикация состояния EtherCAT | Один многоцветный и два красно-зелёных светодиодных индикатора | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Монтажная ориентация | Горизонтальная или вертикальная | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ | Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой. |
| Материал, контактирующий с вакуумом | Коррозионностойкий никелевый сплав | Влияет на совместимость со средой, очистку, нагрев и технологию соединения. |
Техническая галерея
Изображения, чертежи и рабочие кривые
Внешний вид оборудования, габаритные схемы и рабочие характеристики собраны рядом с параметрами модели.
Паспорт модели
Ключевые параметры FM1
Краткая инженерная интерпретация параметров этого исполнения для подбора, компоновки и эксплуатации.
Для модели FM1 указано значение «Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C». Ограничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Для модели FM1 указано значение «До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр». Определяет пригодность для контроля, регулирования или регистрации процесса.
Для модели FM1 указано значение «EtherCAT, 2 розетки RJ45». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Для модели FM1 указано значение «0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм». Должен соответствовать входу контроллера или системы автоматизации.
Для модели FM1 указано значение «3,3 мс». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Для модели FM1 указано значение «+24 В пост. тока ±10 %». Проверяется вместе с кабелем, защитой и требованиями к заземлению.
Для модели FM1 указано значение «310 кПа». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Для модели FM1 указано значение «NW16-KF, NW25-KF, CF16, VCR, VCO или трубка 1/2 дюйма». Определяет механический и вакуумный интерфейс с системой.
Инженерный выбор
Параметры для включения в систему
- Выбрать диапазон так, чтобы рабочая точка находилась в подтвержденной области измерения.
- Уточнить газовую зависимость, точность и допустимое избыточное давление.
- Проверить присоединение, выходной сигнал, питание и совместимый контроллер.
- Учесть загрязнение, ориентацию и время отклика в реальном процессе.
Роль в системе
FM1 в составе вакуумной установки
Преобразует давление в измерительный сигнал для индикации, регистрации или управления процессом. Рабочую точку выбирают внутри подтвержденного диапазона конкретного исполнения.
Типовые задачи
- контроль давления в вакуумной камере
- управление технологическим циклом
- защитные блокировки и регистрация трендов
От спецификации к монтажу
Интеграция и ввод в эксплуатацию
Последовательность помогает не потерять интерфейсы, которые обычно не видны в краткой строке каталога.
Сопряжение с системой
- Согласовать вакуумное присоединение, ориентацию и место установки относительно источников загрязнения.
- Проверить питание, тип выходного сигнала, распиновку и совместимый контроллер.
- Уточнить газовую зависимость, точность, время отклика и допустимое избыточное давление.
- Предусмотреть процедуру нулевой настройки, поверки или функциональной проверки.
Проверка перед запуском
- Проверить чистоту измерительного порта и соответствие присоединения.
- Подключить питание и сигнал по схеме точного исполнения.
- Выполнить предусмотренную изготовителем настройку нуля или контрольную проверку.
- Сопоставить показания с опорным прибором в нескольких точках рабочего диапазона.
Эксплуатационный контур
Что зафиксировать после выбора
Правильная карточка оборудования должна работать не только при закупке, но и при монтаже, запуске и последующем обслуживании.
Для технического запроса
- рабочий и предельный диапазон давления
- состав газа и наличие конденсируемых паров
- требуемая точность и время отклика
- вакуумное присоединение
- питание, сигнал и контроллер
- требования к поверке или калибровке
Для эксплуатации и сервиса
- Отслеживать дрейф нуля и расхождение с опорным измерением.
- Защищать чувствительный элемент от конденсата, частиц и превышения давления.
- Фиксировать дату настройки, поверки и изменения конфигурации контроллера.
- Не переносить коэффициенты одного газа на другой без проверки принципа измерения.
Точная конфигурация
Комплектация и заказное исполнение
При заказе укажите модель, присоединение, рабочую среду, режим эксплуатации и количество. Для насосов и измерительных приборов дополнительно согласуются питание, охлаждение, контроллеры и кабели; для компонентов — материал, уплотнение и ответные детали.
Перед заказом
Вопросы по модели FM1
Можно ли выбрать позицию только по названию?
Нет. Для FM1 необходимо сверить артикул, размер, материал и все параметры из таблицы с проектной спецификацией.
Допустима ли замена соседней моделью серии?
Только после сравнения присоединений, характеристик и ограничений процесса. Сходное название серии не означает взаимозаменяемость.
Что уточнить перед заказом?
Заказной код, присоединение, материал, рабочий режим, комплектность и необходимые интерфейсы точного исполнения.
Какие данные приложить к техническому запросу?
Укажите модель, функцию позиции в установке, рабочее давление, среду, присоединение, количество и требования к комплектации.
Связанные материалы
Продолжить инженерный подбор
Ссылки ведут к категории, серии, документации и материалам, которые дополняют характеристики этой модели.