Вакуумметр для процессов до 200 °C с уменьшением осаждения продуктов травления и CVD на чувствительной мембране.
Серия: MM1
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 — прибор вакуумного измерения CBVAC, модель MM1. Подтверждённые данные исполнения: диапазоны полной шкалы — 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр; температурное исполнение — 150 °C, 160 °C или 200 °C; точность — 0,50 % от показания; разрешение — 0,01 % полной шкалы; выходной сигнал — 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм.
Измерительный преобразователь формирует сигнал давления для индикации, регистрации и автоматики. Применимость определяется физическим принципом датчика, диапазоном, рабочими газами, точностью, временем отклика и совместимостью выходного сигнала с контроллером.
При подборе задают начальное, рабочее и предельное давление, требуемую точность и скорость обновления, состав газа, температуру, вероятность конденсации и загрязнения, присоединение, питание и формат сигнала. Предел перегрузки рассматривают как защитное ограничение, а не как расширение рабочего диапазона.
Прибор устанавливают на чистом и механически разгруженном порту. Ориентацию выбирают так, чтобы частицы и конденсат не попадали в чувствительный узел; кабель отделяют от силовых цепей, экран и заземление подключают по схеме установки. Ответный фланец, уплотнение и контактирующие материалы проверяют на совместимость с процессом.
Перед вводом в эксплуатацию проверяют маркировку, герметичность порта, питание, нулевой сигнал, единицы отображения и реакцию автоматики. Показания оценивают после установленного времени прогрева. Контрольную точку и периодичность калибровки фиксируют в регламенте оборудования с учётом стабильности процесса и требований системы качества.
В заказной спецификации указывают модель MM1, диапазон и единицы давления, точность, присоединение, материалы, выход, питание, кабель, рабочие газы, температуру и требования к калибровке. Для согласования используется единственный контакт: info@cbvacrus.ru
Вакуумные измерения MM1: ключевые параметры — Диапазоны полной шкалы — 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр; Температурное исполнение — 150 °C, 160 °C или 200 °C; Точность — 0,50 % от показания; Разрешение — 0,01 % полной шкалы. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.
Оборудование относится к разделу Вакуумные измерения, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр |
| Температурное исполнение | 150 °C, 160 °C или 200 °C |
| Точность | 0,50 % от показания |
| Разрешение | 0,01 % полной шкалы |
| Выходной сигнал | 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм |
| Релейные выходы | 2 опциональных порога, регулируемых в пределах 0,5-100 % полной шкалы |
| Время отклика | 50 мс |
| Питание | ±15 В пост. тока ±5 %, до 1,0 А |
| Вакуумные присоединения | VCR, NW16-KF или трубка 1/2 дюйма |
| Температурный дрейф нуля | 150 и 160 °C: 0,004 % полной шкалы/°C (> 1 Торр), 0,008 % (1 Торр); 200 °C: 0,008 % (> 1 Торр), 0,016 % (1 Торр) |
| Температурный коэффициент полной шкалы | 0,02 % от показания/°C |
| Рабочая температура окружающей среды | 15-50 °C |
| Время прогрева | 4 ч |
| Требуемая скорость воздуха вокруг корпуса | 150 и 160 °C: 0,25 м/с при окружающей температуре 45-50 °C; 200 °C: 0,76 м/с при 40-50 °C |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ |
| Материал, контактирующий с вакуумом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
Внешний вид оборудования, габаритные схемы и рабочие характеристики собраны рядом с параметрами модели.
Преобразует давление в измерительный сигнал для индикации, регистрации или управления процессом. Рабочую точку выбирают внутри подтвержденного диапазона конкретного исполнения.
Последовательность помогает не потерять интерфейсы, которые обычно не видны в краткой строке каталога.
Для монтажа, запуска и обслуживания сохраните полное обозначение модели, код заказа, рабочие режимы, присоединения и схему управления в технической спецификации установки.
При заказе укажите модель, присоединение, рабочую среду, режим эксплуатации и количество. Для насосов и измерительных приборов дополнительно согласуются питание, охлаждение, контроллеры и кабели; для компонентов — материал, уплотнение и ответные детали.
Нет. Для MM1 необходимо сверить артикул, размер, материал и все параметры из таблицы с проектной спецификацией.
Только после сравнения присоединений, характеристик и ограничений процесса. Сходное название серии не означает взаимозаменяемость.
Заказной код, присоединение, материал, рабочий режим, комплектность и необходимые интерфейсы точного исполнения.
Укажите модель, функцию позиции в установке, рабочее давление, среду, присоединение, количество и требования к комплектации.
Ссылки ведут к категории, серии, документации и материалам, которые дополняют характеристики этой модели.
