MTP-3201CTMS (ISO320F)

Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTMS (ISO320F)

Насос со встроенным контроллером для высоковакуумных технологических процессов.

Быстрота откачки по N₂
3200 л/с
Предельное давление после прогрева
10⁻⁷ Па
Быстрота откачки по Ar
2800 л/с
Быстрота откачки по H₂
2300 л/с
  • 36технических параметров
  • Вакуумные насосыкатегория оборудования
  • Подборпо условиям процесса
Назначение

Применение и конструктивное исполнение

Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTMS (ISO320F) — вакуумный насос CBVAC, модель MTP-3201CTMS (ISO320F). Подтверждённые данные исполнения: быстрота откачки по n₂ — 3200 л/с; предельное давление после прогрева — 10⁻⁷ Па.

Магнитный подвес ротора исключает механический контакт в опорном узле в штатном режиме. Процессное исполнение, продувку, прогрев, TMS и контроллер учитывают только тогда, когда они прямо указаны для данной модификации.

Для инженерного подбора задают объём и материал камеры, начальное, рабочее и предельное давление, время откачки, состав и расход газов, загрязнения, температуру и режим работы. Расчёт выполняют для всей системы с учётом проводимости патрубков, клапанов, фильтров и выпускной линии; номинальная быстрота насоса сама по себе не определяет время цикла.

Монтаж выполняют в подтверждённой ориентации на рассчитанном основании. Корпус и фланцы не нагружают массой трубопровода, уплотнительные поверхности защищают от частиц и повреждений, а вокруг охлаждения, кабелей и сервисных зон оставляют доступ. До запуска проверяют герметичность, заземление, выпуск и готовность вспомогательных систем.

Алгоритм запуска учитывает готовность форвакуумной ступени, охлаждения и измерительного канала. Во время работы контролируют давление, температуру, ток или мощность, шум, вибрацию и аварийные сигналы. После обслуживания повторяют проверку герметичности, блокировок и устойчивости режима; результаты сохраняют в журнале установки.

В заказной спецификации указывают модель MTP-3201CTMS (ISO320F), газы и загрязнения, параметры камеры и цикла, оба фланца, форвакуумную ступень, охлаждение, питание, контроллер, кабели и интерфейсы. Для согласования комплектации используется info@cbvacrus.ru

MTP-3201CTMS(ISO320F) — заказная конфигурация магнитолевитационного турбомолекулярного насоса MTP серии MTP-3201. Код заказа A24A3-00024 связывает тип входного фланца, процессные опции, контроллер, охлаждение и документацию поставки.

Подтверждённая комплектация: входной фланец конфигурации — ISO320F; масса конфигурации — 87 кг; процессное исполнение — Полупроводниковое; строгое коррозионностойкое исполнение — Да; tms — Предусмотрен; нагрев — Предусмотрен; продувка — Предусмотрена; охлаждение конфигурации — Водяное; контроллер конфигурации — Встроенный. Опции TMS, прогрева, продувки и коррозионностойкого исполнения учитывают только тогда, когда они прямо указаны для данного кода заказа; отсутствие отметки не заменяют предположением.

Подтверждённые рабочие данные: быстрота откачки по n₂ — 3200 л/с; быстрота откачки по ar — 2800 л/с; быстрота откачки по h₂ — 2300 л/с; предельное давление после прогрева — 10⁻⁷ Па; максимальное непрерывное форвакуумное давление — 266 Па (при TMS). Быстроту откачки сопоставляют с конкретным газом, а расчётную рабочую точку — с проводимостью магистрали, газовой нагрузкой, объёмом камеры и допустимым форвакуумным давлением.

Насос монтируют на разгруженный высоковакуумный порт с подтверждённой ориентацией и свободным доступом к форвакуумному патрубку, охлаждению, кабелям и сервисным зонам. Перед запуском проверяют чистоту и герметичность фланцев, расход охлаждающей воды, защитное заземление, состояние кабелей и отсутствие механической нагрузки от трубопровода.

Система управления должна разрешать разгон только после готовности форвакуумной ступени и охлаждения, контролировать частоту вращения, температуру и аварийные сообщения, а при нарушении условий выполнять согласованную остановку. Интерфейс Modbus и дискретные блокировки включают в общую схему автоматизации конкретной вакуумной установки.

В заказной спецификации указывают модель MTP-3201CTMS(ISO320F), код A24A3-00024, рабочие газы и загрязнения, объём камеры, давления и время откачки, оба фланца, форвакуумный насос, охлаждение, TMS, нагрев, продувку, контроллер, питание, кабели и интерфейсы. Для согласования используется info@cbvacrus.ru

Вакуумные насосы MTP-3201CTMS (ISO320F): ключевые параметры — Быстрота откачки по N₂ — 3200 л/с; Предельное давление после прогрева — 10⁻⁷ Па; Быстрота откачки по Ar — 2800 л/с; Быстрота откачки по H₂ — 2300 л/с. При проектировании их сопоставляют с рабочим давлением, средой, присоединением и режимом установки.

Оборудование относится к разделу Вакуумные насосы, где доступны соседние исполнения, руководство по выбору и фильтры.

Параметры модели

Технические характеристики

ПараметрЗначениеЗначение для проекта
Быстрота откачки по N₂3200 л/сИспользуется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.
Предельное давление после прогрева10⁻⁷ ПаСопоставляется с рабочей точкой, переходными режимами и защитными блокировками.
Быстрота откачки по Ar2800 л/сИспользуется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.
Быстрота откачки по H₂2300 л/сИспользуется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.
Коэффициент сжатия по N₂ / Ar> 10⁸Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Коэффициент сжатия по H₂> 2×10³Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Максимальное непрерывное форвакуумное давление266 Па (при TMS)Сопоставляется с рабочей точкой, переходными режимами и защитными блокировками.
Входной / выпускной фланецISO320F / KF40Задает стандарт, условный проход, уплотнение и ответную часть соединения.
Номинальная частота вращения27 720 об/минУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Время запуска / останова≤ 10 / ≤ 16 минУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Шум< 55 дБУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
ОхлаждениеВода 3 л/мин, 15…35 °CУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Давление охлаждающей воды0,3 МПаСопоставляется с рабочей точкой, переходными режимами и защитными блокировками.
Продувочный газN₂, 50 ± 10 см³/мин (н. у.)Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Масса84 кгУчитывается при расчете опор, подвесов и нагрузки на соседние компоненты.
Максимальная входная мощность1800 ВА с TMSУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Степень защитыIP54Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Рабочая температура0…40 °CОграничивает режим процесса, прогрева, охлаждения и выбранные материалы.
Интерфейсыдистанционные входы/выходы, RS232/RS485; опционально PROFIBUS или EtherCATУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Код заказаA24A3-00024Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Модель конфигурацииMTP-3201CTMS(ISO320F)Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
СерияMTP-3201Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Тип оборудованияМагнитолевитационный турбомолекулярный насосУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Входной фланец конфигурацииISO320FЗадает стандарт, условный проход, уплотнение и ответную часть соединения.
Масса конфигурации87 кгУчитывается при расчете опор, подвесов и нагрузки на соседние компоненты.
Процессное исполнениеПолупроводниковоеУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Строгое коррозионностойкое исполнениеДаУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
НагревПредусмотренУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
ПродувкаПредусмотренаУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Интерфейс управленияModbusУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Охлаждение конфигурацииВодяноеУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Контроллер конфигурацииВстроенныйУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Интерфейс продувкиKF10Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
TMSПредусмотренУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Выпускной фланецKF40Задает стандарт, условный проход, уплотнение и ответную часть соединения.
Максимальная входная мощность1800 ВАУчитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.
Паспорт модели

Ключевые параметры MTP-3201CTMS (ISO320F)

Краткая инженерная интерпретация параметров этого исполнения для подбора, компоновки и эксплуатации.

Быстрота откачки по N₂ 3200 л/с

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «3200 л/с». Используется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.

Предельное давление после прогрева 10⁻⁷ Па

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «10⁻⁷ Па». Сопоставляется с рабочей точкой, переходными режимами и защитными блокировками.

Быстрота откачки по Ar 2800 л/с

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «2800 л/с». Используется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.

Быстрота откачки по H₂ 2300 л/с

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «2300 л/с». Используется в расчете времени откачки с учетом проводимости магистрали.

Коэффициент сжатия по N₂ / Ar > 10⁸

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «> 10⁸». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Коэффициент сжатия по H₂ > 2×10³

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «> 2×10³». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Максимальное непрерывное форвакуумное давление 266 Па (при TMS)

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «266 Па (при TMS)». Сопоставляется с рабочей точкой, переходными режимами и защитными блокировками.

Входной / выпускной фланец ISO320F / KF40

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «ISO320F / KF40». Задает стандарт, условный проход, уплотнение и ответную часть соединения.

Номинальная частота вращения 27 720 об/мин

Для модели MTP-3201CTMS (ISO320F) указано значение «27 720 об/мин». Учитывается при выборе точного исполнения и сопряжении с вакуумной системой.

Различия внутри серии

MTP-3201CTMS (ISO320F) и соседние исполнения

Сравнение показывает различающиеся параметры соседних исполнений и помогает выбрать модель под рабочую точку.

MTP-3201P(ISO250F)

  • Код заказа MTP-3201CTMS (ISO320F): A24A3-00024 MTP-3201P(ISO250F): A24A3-00013
  • Модель конфигурации MTP-3201CTMS (ISO320F): MTP-3201CTMS(ISO320F) MTP-3201P(ISO250F): MTP-3201P(ISO250F)
  • Входной фланец конфигурации MTP-3201CTMS (ISO320F): ISO320F MTP-3201P(ISO250F): ISO250F

MTP-4301ES(ISO320F)

  • Код заказа MTP-3201CTMS (ISO320F): A24A3-00024 MTP-4301ES(ISO320F): A25A3-00013
  • Модель конфигурации MTP-3201CTMS (ISO320F): MTP-3201CTMS(ISO320F) MTP-4301ES(ISO320F): MTP-4301ES(ISO320F)
  • Серия MTP-3201CTMS (ISO320F): MTP-3201 MTP-4301ES(ISO320F): MTP-4301

MTP-4301CTMS(ISO400F)

  • Код заказа MTP-3201CTMS (ISO320F): A24A3-00024 MTP-4301CTMS(ISO400F): A24A3-00030
  • Модель конфигурации MTP-3201CTMS (ISO320F): MTP-3201CTMS(ISO320F) MTP-4301CTMS(ISO400F): MTP-4301CTMS(ISO400F)
  • Серия MTP-3201CTMS (ISO320F): MTP-3201 MTP-4301CTMS(ISO400F): MTP-4301
Инженерный выбор

Параметры для включения в систему

Для магнитолевитационного насоса MTP производитель требует согласовать фланец, водяное охлаждение, TMS, продувку, рабочую точку, магнитное поле и интерфейсы автоматизации.

  • Указать входной фланец ISO-F, CF или VG, условный проход DN и геометрию ответного фланца камеры или клапана.
  • Предусмотреть водяное охлаждение: производитель не указывает воздушное исполнение для серии MTP; отдельно согласуется качество охлаждающей воды.
  • Уточнить необходимость системы температурного управления TMS, требуемую температуру и подачу защитного либо продувочного газа.
  • Согласовать встроенный или выносной контроллер, длину кабеля, питание, протокол связи и дискретные интерфейсы.
Роль в системе

MTP-3201CTMS (ISO320F) в составе вакуумной установки

Создает требуемый режим откачки камеры. Фактическая быстрота на объекте зависит не только от насоса, но и от проводимости магистрали, газовой нагрузки и форвакуумной ступени.

Типовые задачи

  • технологическая откачка камер
  • высоковакуумные стенды и приборы
  • насосные агрегаты с согласованной форвакуумной ступенью
От спецификации к монтажу

Интеграция и ввод в эксплуатацию

Последовательность помогает не потерять интерфейсы, которые обычно не видны в краткой строке каталога.

01

Сопряжение с системой

  • Сопоставить предельное и рабочее давление с требуемой быстротой откачки и объемом камеры.
  • Проверить состав газа, пылевую нагрузку, материал камеры, температуру и вибрацию в точке установки.
  • Указать магнитное поле: до 30 Gs, от 30 до 100 Gs, от 100 до 150 Gs или иное значение проекта.
  • Выбрать Modbus, Profibus, EtherCAT или другой протокол и согласовать RS232/485, дискретные сигналы либо питание 24 В для интерфейса.
02

Проверка перед запуском

  • Проверить свободный газовый тракт, охлаждение, электропитание и защитные цепи.
  • Запустить форвакуумную ступень и подтвердить разрешающее давление.
  • Выполнить пробный цикл откачки без технологической нагрузки.
  • Записать базовые значения давления, времени откачки, температуры и состояния контроллера.
Эксплуатационный контур

Что зафиксировать после выбора

Правильная карточка оборудования должна работать не только при закупке, но и при монтаже, запуске и последующем обслуживании.

Для технического запроса

  1. тип, DN и состояние ответного входного фланца
  2. предельное и рабочее давление, требуемая быстрота откачки
  3. объем камеры, состав газа и уровень пыли
  4. материал камеры, температура, вибрация и магнитное поле
  5. параметры охлаждающей воды и наличие защитного газа
  6. необходимость TMS и требуемая температура управления
  7. встроенный или выносной контроллер и длина кабеля
  8. питание, Modbus, Profibus, EtherCAT, RS232/485 и дискретные сигналы

Для эксплуатации и сервиса

  • Вести журнал циклов, аварий, температуры и отклонений времени откачки.
  • Контролировать состояние охлаждения, кабелей, фланцев и выпускной линии.
  • Планировать обслуживание по руководству точного исполнения и фактической нагрузке.
  • Не разбирать высокоскоростной или сухой насос без утвержденной сервисной процедуры.
Точная конфигурация

Комплектация и заказное исполнение

При заказе укажите модель, присоединение, рабочую среду, режим эксплуатации и количество. Для насосов и измерительных приборов дополнительно согласуются питание, охлаждение, контроллеры и кабели; для компонентов — материал, уплотнение и ответные детали.

Перед заказом

Вопросы по модели MTP-3201CTMS (ISO320F)

Можно ли выбрать позицию только по названию?

Нет. Для MTP-3201CTMS (ISO320F) необходимо сверить артикул, размер, материал и все параметры из таблицы с проектной спецификацией.

Допустима ли замена соседней моделью серии?

Только после сравнения присоединений, характеристик и ограничений процесса. Сходное название серии не означает взаимозаменяемость.

Что уточнить перед заказом?

Заказной код, присоединение, материал, рабочий режим, комплектность и необходимые интерфейсы точного исполнения.

Какие данные приложить к техническому запросу?

Укажите модель, функцию позиции в установке, рабочее давление, среду, присоединение, количество и требования к комплектации.

Связанные материалы

Продолжить инженерный подбор

Ссылки ведут к категории, серии, документации и материалам, которые дополняют характеристики этой модели.

Сравнение 0 Список оборудования 0

Вы можете пользоваться всем сайтом без аналитических cookie. Каждый сервис включается отдельно и только после сохранения выбора.