Конфигурация турбомолекулярного насоса JFB-63/81, код A22A1-00023
Конфигурация JFB-63/81, код заказа A22A1-00023: входной фланец конфигурации - LF63; уплотнение конфигурации - O-Ring; контроллер конфигурации - Встроенный; охлаждение конфигурации - Водяное.
- Быстрота откачкиN₂ - 85 л/с; He - 55 л/с
- Предельное давление≤ 8×10⁻⁶ Па