Чистый вакуумный тракт, надежная откачка и управление давлением для технологических модулей.
Для направления «Полупроводниковое производство» решение принимается по подтвержденным параметрам оборудования и реальным условиям процесса. Одинаковое предельное давление в каталоге не означает одинаковую скорость откачки камеры: результат зависит от проводимости линии, газовой нагрузки и выбранной рабочей точки.
В полупроводниковом оборудовании вакуумная подсистема работает как часть повторяемого рецепта. На результат влияют не только предельное давление и быстрота насоса, но и история поверхности, перенос загрязнений между циклами, время открытия клапана и положение точки измерения относительно камеры.
Архитектуру разделяют на технологический объем, форвакуумную линию, высоковакуумную ступень и контуры безопасного напуска. Для каждого участка фиксируют допустимые материалы, направление потока, порядок изоляции и действия автоматики при потере охлаждения, питания или пневматики.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Укажите значение, диапазон или отметьте, что параметр требуется определить расчетом.
Разделяем требования процесса и параметры вакуумной подсистемы.
Определяем ступени откачки, арматуру и средства измерения.
Проверяем проводимость, газовую нагрузку и условия интеграции.
Формируем состав оборудования и контрольные точки приемки.
Результат — архитектура вакуумной подсистемы с моделями, интерфейсами, ограничениями и вопросами, которые необходимо подтвердить до заказа.
Модель, код заказа, присоединение, диапазон, питание и комплектация сверяются с актуальной документацией. Условия наличия, срок гарантии и применимость конкретной запасной части не публикуются без подтверждения по поставке.
Числовые параметры из каталога рассматриваются вместе с единицами, условиями измерения и типом газа. Если источник не определяет условие, оно фиксируется как вопрос, а не заменяется предположением.
Изображение серии
Высоковакуумный пневматический угловой клапан: модель GDQ-J40BGK, код заказа 4.1.E2263.
Изображение серии
Высоковакуумный пневматический угловой клапан: модель GDQ-J40HGK-EH1D, код заказа 4.1.2263-EH1D.
Изображение серии
Высоковакуумный ручной клапан тонкой регулировки: модель GW-J2, код заказа 4.1.A2703.
Изображение серии
Высоковакуумный ручной напускной клапан: модель GD-Q4, код заказа 4.1.A2130.
Напишите на info@cbvacrus.ru. На сайте нет форм обратной связи; вложения остаются в вашем почтовом клиенте.
