Конфигурация турбомолекулярного насоса JFB-100/301, код A21A1-00074
Конфигурация JFB-100/301, код заказа A21A1-00074: входной фланец конфигурации - CF100; уплотнение конфигурации - Металлическое; контроллер конфигурации - Встроенный; охлаждение конфигурации - Водяное.
- Быстрота откачкиN₂ - 300 л/с; He - 230 л/с
- Предельное давление≤ 5×10⁻⁷ Па