Конфигурация турбомолекулярного насоса JFB-63/81, код A22A1-00026
Конфигурация JFB-63/81, код заказа A22A1-00026: входной фланец конфигурации - CF63; уплотнение конфигурации - Металлическое; контроллер конфигурации - Встроенный; охлаждение конфигурации - Воздушное.
- Быстрота откачкиN₂ - 85 л/с; He - 55 л/с
- Предельное давление≤ 8×10⁻⁷ Па